據(jù)外媒報道，悉尼大學副教授Niels Quack領導的研究團隊研發(fā)了一種在微芯片上將光學器件和微電子機械結構（MEMS）結合在一起的新技術，為創(chuàng)建微型3D攝像頭和用于精確空氣質量測量（包括用于手機）的氣體傳感器等設備鋪平了道路。

在微芯片上集成光學器件與微電子機械結構（圖片來源： 悉尼大學 ）

該論文發(fā)表于《自然：微系統(tǒng)與納米工程》雜志，該種新型微加工工藝建立于硅光子學的基礎上，采用半導體制造技術，為光纖通信、傳感器甚至是未來的量子計算機實現(xiàn)新型更節(jié)能的設備。

航空航天、機械與機電工程學院副教授Quack表示，光子MEMS的獨特之處在于其結構緊湊、功耗很低、運行速度快、支持廣泛的光載波信號、光學損耗低。

Quack表示：“這是納米機電執(zhí)行器首次集成至標準的硅光子學技術平臺中，也是邁向成熟、大規(guī)模、可靠的集成MEMS光子電路的重要一步。該項技術已準備好量產，潛在應用包括自動駕駛汽車的3D成像或新型光子輔助計算。目前，類似的技術會消耗大量電力，占用大面積的芯片空間，還有很高的光學損耗，因此在芯片上集成大量組件極具挑戰(zhàn)性。我們的硅光子MEMS技術克服了上述缺點，為光子集成電路的高效擴展提供了一條路徑。該項技術將促進微納米制造、光子學與半導體領域的發(fā)展，具有廣泛的應用，包括自動駕駛汽車中激光雷達3D傳感的激光束轉向、可編程光子芯片或量子光子學中的信息處理?！?/p>