據(jù)外媒報(bào)道，悉尼大學(xué)副教授Niels Quack領(lǐng)導(dǎo)的研究團(tuán)隊(duì)研發(fā)了一種在微芯片上將光學(xué)器件和微電子機(jī)械結(jié)構(gòu)（MEMS）結(jié)合在一起的新技術(shù)，為創(chuàng)建微型3D攝像頭和用于精確空氣質(zhì)量測(cè)量（包括用于手機(jī)）的氣體傳感器等設(shè)備鋪平了道路。

在微芯片上集成光學(xué)器件與微電子機(jī)械結(jié)構(gòu)（圖片來(lái)源： 悉尼大學(xué) ）

該論文發(fā)表于《自然：微系統(tǒng)與納米工程》雜志，該種新型微加工工藝建立于硅光子學(xué)的基礎(chǔ)上，采用半導(dǎo)體制造技術(shù)，為光纖通信、傳感器甚至是未來(lái)的量子計(jì)算機(jī)實(shí)現(xiàn)新型更節(jié)能的設(shè)備。

航空航天、機(jī)械與機(jī)電工程學(xué)院副教授Quack表示，光子MEMS的獨(dú)特之處在于其結(jié)構(gòu)緊湊、功耗很低、運(yùn)行速度快、支持廣泛的光載波信號(hào)、光學(xué)損耗低。

Quack表示：“這是納米機(jī)電執(zhí)行器首次集成至標(biāo)準(zhǔn)的硅光子學(xué)技術(shù)平臺(tái)中，也是邁向成熟、大規(guī)模、可靠的集成MEMS光子電路的重要一步。該項(xiàng)技術(shù)已準(zhǔn)備好量產(chǎn)，潛在應(yīng)用包括自動(dòng)駕駛汽車的3D成像或新型光子輔助計(jì)算。目前，類似的技術(shù)會(huì)消耗大量電力，占用大面積的芯片空間，還有很高的光學(xué)損耗，因此在芯片上集成大量組件極具挑戰(zhàn)性。我們的硅光子MEMS技術(shù)克服了上述缺點(diǎn)，為光子集成電路的高效擴(kuò)展提供了一條路徑。該項(xiàng)技術(shù)將促進(jìn)微納米制造、光子學(xué)與半導(dǎo)體領(lǐng)域的發(fā)展，具有廣泛的應(yīng)用，包括自動(dòng)駕駛汽車中激光雷達(dá)3D傳感的激光束轉(zhuǎn)向、可編程光子芯片或量子光子學(xué)中的信息處理?！?/p>